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产品描述
规格参数
产品特点:
» 该设备主要针对GPP晶圆开发的一种自动裂片设备;配备自动上下料、Z轴压力感应、视觉角度矫正、双片检测、自动喷液功能;
» 该设备机械良率高,裂片效率快;
» 全中文操作界面,操作直观、简易,界面良好;
» 工艺参数可存储调取,操作简便;
» 压力数值感应,可曲线图显示;
» 自动排液系统。
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